本装置の主な特長

  1. 記録光学系に、CDの原盤記録に使用されている青色光源レーザ (Ar(アルゴン)イオンレーザ:波長458nm)に代えて、より短波長の 紫外光レーザ(Krイオンレーザ:波長351nm)を採用するとともに、 高NA対物レンズ(NA0.9)を採用することで、フォトレジスト感度を 約10倍に向上するなど、より高精度に安定したピット記録を可能にしました。 また、記録ビームの反射光を用いたレーザ光の光量・フォーカス制御系の開発により、 フォーカス誤差を0.05μm以下に 抑えるなど、高精度な制御を実現しています。

  2. ガラス原盤への正確なピット記録のため、(1)微細制御を必要とするレーザ ビーム出射部の台座(スライダ)を、駆動方向以外の上下左右方向に動かないよう 圧縮空気の噴射を用いて確実に固定する高剛性エアスライダ機構の採用、 (2)スライダの前後駆動を振動の影響を抑えて行うことができ高精度位置決めに 有利な摩擦駆動機構の採用、(3)レーザビームの出射部のみを圧電素子でスライダに 固定した微動テーブル上に設け、微小振動を圧電素子の微細伸長による 微動テーブルの位置修正によって補正する能動補償機構の採用、等により 極狭のトラックピッチ(0.74μm)で 記録ビームスポットを±10nmの 高精度で位置決めすることを可能にしています。

  3. 原盤の量産設備対応として、長時間の安定性、信頼性向上のため、 温度上昇などの周辺環境変化に影響されにくい光学系材料を選定したほか、 装置周辺の温度、風量、クリーン度の適正管理が可能な専用の恒温クリーン チャンバに装置本体を設置しています。


プレスリリース記載の情報(製品価格/仕様、サービスの内容、お問い合わせ先、URL等)は、発表日現在の情報です。予告なしに変更されることがありますので、あらかじめご了承ください。最新のお問い合わせ先は、東芝全体のお問い合わせ一覧をご覧下さい。