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DVDディスク製造用の高精度原盤記録装置の開発ならびに実用化について

1996年3月14日

 当社は、4.7ギガバイトの高密度記録を実現したDVDディスクを製造 するためのディスク原盤記録装置として、スタンパ作成用のガラス原盤上に ピット幅0.3μmの超微小な信号 ピットをトラックピッチ0.74μmの 微細間隔で高精度にかつ長時間安定して形成することのできるKr(クリプトン) イオンレーザ原盤記録装置を開発し、このたび機能評価・調整を終え実用装置として 完成しました。
 本装置は、米国タイム・ワーナー社と進めてきたDVD技術開発の中で、 ディスク製造のための中核装置となるもので、当社のKrイオンレーザによる 短波長(351nm)レーザ記録技術、記録ビームスポットを高精度で 位置決めできる高精度位置制御技術、レーザの焦点位置を最適に制御する フォーカスサーボ技術を駆使して開発し、昨夏から東芝EMI株式会社 御殿場工場に設置し、サンプルディスク用の原盤記録を行うなど、実用ラインで 使用するための装置評価・調整を進めてきたものです。
 本装置を使用することで、高密度に信号ピットを配列するDVDディスクの 量産の要となるディスク原盤の制作を高い信頼性で安定して行うことができ、 本格的なDVDディスク生産に向けた体制が整うことになります。
 当社では、本装置を、東芝EMI株式会社と96年中頃から実施する 「DVDマスタリング・製盤サービス」にも運用していきます。


開発の背景とねらい
本装置の主な特長
原盤記録装置の仕様
ディスク製造工程


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