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最先端LSIの生産拠点である四日市工場の第2クリーンルーム棟新建家の竣工について

1996年5月30日

64メガビットDRAMに加え256メガビットDRAMも量産可能

 当社は、最先端メモリの量産拠点である四日市工場において、第2クリーンルーム 棟新建家の建設を進めてきましたが、本日、竣工しました。

 新クリーンルームは、マルチメディア時代に向けて増大するメモリ需要に 対応するため、平成7年2月に着工し建設を進めてきたもので、0.35ミクロン 以下の線幅で半導体回路を作ることができるなど64メガビットDRAMの量産に 対応した設備を備えています。

 投資額は、建設費、設備費を含めて約1,000億円です。
 四日市工場の従業員数は、今回の新クリーンルームの稼働に併せて約600名 増員し、現在、約1,600名です。

 新建家のクリーンルームの建家面積は、約6万平方メートルで、清浄度はクラス1 (1立方フィート中に0.05ミクロン以上のゴミが1個以下)です。現在、 半導体の量産工場において用いられている半導体ウェハでは最大の8インチウェハを 用いて量産を行いますが、生産能力は、ウェハ投入ベースで月産3万枚です。
 また、新クリーンルームは、当初64メガビットDRAMなどのペレット製造 (前工程)を行うとともに、組立・検査(後工程)も一貫して量産します。

 新クリーンルームは、従来に比べプロセス工程を70%に削減しスループットも 1.4倍に向上させるなど、生産効率を向上させています。
 また、免振床や免振台を用いるなど耐震構造を施しており、地震対策も 強化しています。

 新クリーンルームで量産する64メガビットDRAMの第2世代品(400ミル (約10.2ミリメートル)幅パッケージ)は、当社および米国IBM社、 独シーメンス社の世界的に高い技術力を有した日米欧3社が、各社の有する最先端 技術や設備を結集することにより、効率よく早期に得られた開発成果に基づくもの です。
 当社は、さらに両社と256メガビットDRAMの共同開発も行っていますが、 将来的には、新クリーンルームにおいて、その成果である256メガビット DRAMの一貫生産も行う予定です。

 DRAMの世界需要は、情報・通信・映像が融合するマルチメディア時代に おいては、パソコンなどコンピュータ関連機器やインターネットなどのネットワーク 分野を中心としたデジタル化の進展に伴い伸長し、64メガビットDRAMは、 今年度から立ち上がり、平成9年は約6,500万個まで需要が拡大する見込みです。

 当社は、このような拡大するメモリ需要に対応するため、新クリーンルームを 建設したものです。また、新クリーンルームは、米国ヴァージニア州マナサス市に、 米国IBM社と共同で建設を進めている最先端メモリの量産拠点のモデル工場に なります。

 また、当社は、四日市工場第1クリーンルーム棟、大分工場、モトローラ社との 合弁会社である東北セミコンダクタ株式会社において、現在、16メガビット DRAMを量産していますが、今回の新クリーンルームの増設により、現在の 月産650万個を順次増産し、本年末には月産900万個、本年度末には 1,000万個に拡大する計画です。

 当社は、本日、四日市工場において、北川三重県知事、加藤四日市市長などの ご出席のもとに新クリーンルーム棟の竣工式を行います。

 当社は、四日市工場における半導体事業を通じて、三重県および四日市市における 経済、産業の発展に寄与できるものと期待しています。


四日市工場の概要

工場長 米澤 敏夫
住所 三重県四日市市山之一色町800番地(四日市ハイテク工業団地内)
敷地面積 約31万平方メートル
建家面積 第1棟:約5万平方メートル(延床)、第2棟:約6万平方メートル(延床)
人員 約1,600名(平成8年5月現在)
生産品目 16メガビットDRAM


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