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米国における64メガビットDRAM量産拠点の稼働について

1997年9月16日

株式会社  東芝
IBMコーポレーション

 株式会社 東芝(社長:西室 泰三)とIBMコーポレーション(会長:ルイス V.ガースナー)の合弁会社であるドミニオン・セミコンダクタ社(ヴァージニア州マナサス市)は、 64メガビットDRAM前工程の生産を行う工場の建設を進めてきましたが、 9月15日11時(現地時間)から竣工式を開催しました。

 竣工式は、ドミニオン・セミコンダクタ社において、 ジョージ・アレン・ヴァージニア州知事、マーヴィン.ギラム・マナサス市市長をはじめ、 大山昌伸・東芝 取締役副社長、マイケル・J・アタード・IBM マイクロエレクトロニクス ゼネラルマネージャーなどが参加し行われました。

 新工場は95年12月から建設を開始し、 建家は全高約22メートル(地上高で約16.5メートル)、 地上2階地下1階、延床面積約6万4千平方メートルで、クラス1(注)のクリーンルームを備えています。 フル稼働時にはウエハ投入ベースで月産2万7千枚の生産能力を持ちます。
(注)クラス1:1立方フィート中に0.03ミクロン以上のゴミが1個以下

 当初、0.35ミクロンの微細加工技術を用いて64メガビットDRAMの生産を行い、 98年度下期以降からさらに微細化を進め0.25ミクロンタイプの生産に切り替えていきます。

 64メガビットDRAMの生産にあたっては、 東芝・IBM・シーメンスの3社による最先端DRAMの共同開発の得られた成果とともに、 東芝の四日市工場およびIBMで培った量産技術を活用します。

 ドミニオン・セミコンダクタ社は、96年2月に東芝50%、 IBM側50%の出資で設立されたものです。 従業員数は、現在約470人、99年には約1,200人に拡大する計画です。

ドミニオン・セミコンダクタ社 概要
社長 アレクサンダ・グラハム(Alexander Graham)
所在地 米国ヴァージニア州マナサス市
資本金 4億ドル
設立時期 1996年2月
従業員数 約470人(97年末700人)
敷地面積 約50万平方メートル


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