| 新製造棟の特長 新棟は、地上２階建ての鉄骨造りで延床面積は３４，５００m2（クリーンルーム面積としては１０，０００m2）です。 フレキシブルに装置を設置できる完全ボールルーム構造の採用により、装置の近接配置が可能となり、 クリーンルームのスペース効率が従来と比較して約３０％向上しています。 また、装置の加工点およびウエーハ搬送経路に清浄機能を持つＳＭＩＦシステムを導入することにより、 クリーンルーム全体のクリーン度をクラス１万（１立方フィート中に０．１μｍ以上のゴミが１万個以下）としながら、 ウェーハに対する防塵効果としてはクラス１（１立方フィート中に０．０３μｍ以上のゴミが１個以下）の能力を有しており、 空調費用を大幅に低減することができます。 （ＳＭＩＦ・・・Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅの略）
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