株式会社　東芝
ベンチマーク社

　株式会社東芝（以下、東芝）は本日、半導体露光装置向けのフォーカス測定技術を生かした営業活動を拡充するため、米国ベンチマーク社と測定用マスクのリースに関する代理店契約を締結しました。

　フォーカス測定技術は、露光装置で回路パターンをウェハーに正確に焼き付けるための露光フォーカス設定に必要な、フォーカス誤差測定用マスクと測定方法に関する技術です。
　従来技術では、マスク通過時に光が散乱し、レンズに起因する収差の影響を大きく受けるため、フォーカスの誤差が少なくとも３０ｎｍ程度発生する問題がありました。
　これに対し本技術は、東芝が特許を持つ独自のマスク構造と測定方法により、フォーカス誤差を従来の１／１０にあたる３ｎｍに抑制できるため、微細な半導体製造の歩留まり向上に有効な技術として注目を集めています。

　東芝では、本年１月からマスクをリースする形で本技術の外販活動を本格的に行っています。ベンチマーク社はフォーカス測定技術などプロセス解析・評価を専業とする企業であり、今回その販路を生かして新たに東芝の代理店（非独占的代理店）事業を手掛け、東芝は自社の販路に加え同社の販路を活用することによりさらに営業活動を推進します。

【ベンチマーク社の概要】

参考資料（618KB／PDFデータ）

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