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四日市工場への乾式排ガス処理装置の導入について

2008年3月4日

 当社は、温室効果ガスのひとつであるPFCガス*のフッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウムに固定化することで、水を使用せずに除去することができる乾式排ガス処理装置を、
2008年度から四日市工場第4製造棟へ導入することを決定しました。第4製造棟のフル稼動時には、従来の排ガス処理装置を導入した場合に想定される酸排水量の約80%にあたる約900m/日を削減できる見込みです。本装置の導入による環境対策は、3月6日、7日に当社で開催する第17回東芝グループ環境展にも出展予定です。

 半導体製造工程では、ドライエッチングによる微細パターン加工の際、PFCガスを排出します。PFCガスはCOの数千倍の温室効果をもつため、排出量の削減が課題となっています。当社では、地球温暖化防止の観点から2004年から排ガス処理装置を導入し、排出したPFCガスを分解処理しています。

 しかし、従来の排ガス処理装置では、PFCガスの分解後フッ素成分を水に溶かして処理するため、環境負荷低減の観点からフッ素を含む酸排水の削減が課題となっていました。今回導入を決定した乾式排ガス処理装置は、従来装置と同等以上のPFCガスの分解能力を持つだけでなく、フッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウム(CaF)として固定化して処理することができます。これによりPFCガスの処理用に水を使う必要がなくなり、酸排水量を大幅に削減することができます。

 当社では工場の廃熱の再利用や動力インバータ化を行うなど、地球環境に配慮したさまざまな取り組みを行っています。本装置の導入に関しても、取り組みの1つとして四日市工場の全製造棟への順次導入、および当社グループの半導体工場への展開も検討していきます。

 当社は「地球内企業」としてより良い地球環境の実現のため、昨年11月に「東芝グループ環境ビジョン2050」を策定し、総合環境効率を2000年度を基準として 2050年までに10倍(ファクター10)に高める目標を掲げ、地球環境問題に取り組んでいくことを宣言しました。当社グループの製品は、エネルギーアプローチとエコプロダクツアプローチで取り組みを進めていきます。また、ものづくりのプロセスでも環境に配慮した活動を推進していきます。

* PFCガス(パーフルオロカーボンガス)はフッ素と炭素から成る化合物で、COの数千倍の温室効果を持つガスです。京都議定書では削減の対象となっています。


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