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レシピ管理システム RecipeWizard

製造装置のレシピ登録・変更に付随する作業の大幅な削減と、装置稼働率の向上に貢献します。

半導体製造装置におけるレシピ管理は、半導体を製作するにあたり手順を決めて装置に対して命令、設定、およびパラメータを作っておき、ウェーハにとって最適な処理条件を用意するものです。

RecipeWizardは分散する製造装置にあるレシピのデータを一元化でき各々の製造装置の管理者の作業負荷を削減できます。

RecipeWizardのイメージ

特長

  • 装置稼働率の向上
  • 技術者の作業負荷軽減
  • 装置立上げ期間の短縮
  • レシピの履歴管理が可能
  • 他システムとの連携が容易
  • レシピ内容の参照が容易
  • 装置内情報のバックアップ

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