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水資源の有効活用
東芝グループでは、世界的な水不足への対策として自社での水使用量削減に努めており、水受入量を2012年度に実質生産高原単位で10%削減（2000年度基準）することを目標にしています。2010年度の生産高原単位での水受入量は71%であり、削減目標9%に対して29%削減しました。また水受入量は約5,000万㎥で、前年度より約40万㎥減少しました。
事業別にみると半導体事業における受入量が全体の半分以上を占めているため、主にこの分野における削減の取り組みを進めています。
具体的には使用量の多い半導体製造拠点における排水処理回収装置導入による水資源の再利用や、排ガス処理プロセスのドライ化※による水使用量削減を計画的に進めています。
また地域別にみると日本における水受入量が約9割を占めていますが、水資源がより不足している地域においては個別に目標を設定し、受入量の削減を確実に進めていきます。
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- PFC（PerFluoro Compounds）排ガスの分解処理において、従来のPFC分解後のふっ素成分を水に溶かして処理する湿式法から、カルシウム材によりふっ素成分を吸着処理する乾式法に変更することにより処理用水を不要とするもの。
水受入量と生産高原単位の推移
水受入量の内訳（2010年度）
2007年度の事例
事例1：PFCガス処理装置の酸排水ゼロ化／（株）東芝 四日市工場
四日市工場では温室効果ガスの1つであるPFC※を使用しており、地球温暖化防止のためPFC排ガスを分解処理しています。従来はPFC分解後のフッ素成分を水に溶かして処理するため、環境負荷低減の観点から酸排水および用水の削減が課題でした。この対策として乾式排ガス処理装置を導入し、分解後のフッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウムとして固定化し、水を必要としない処理プロセスとしました。これにより酸排水を大幅に削減（900㎥/日）することができ、かつ用水受入量も削減しました。
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- PFC（Per Fluoro Compounds）：パーフルオロ化合物
PFC排ガス処理装置の酸排水ゼロ化
事例2：中国現法における水利用率の向上／東芝セミコンダクタ無錫社
無錫社では、水資源の再利用率の向上を目的として、逆浸透膜やEDI※による純水製造プロセスにおける排出水の再利用を実施しました。従来は逆浸透膜やEDIを通った後の排水が大量に発生していましたが、EDI処理後の排水を1級フィルター処理後のタンクに一定量を戻すことにより、投入水量を減らすことに成功しました。これにより水使用量を前年度に比較し約1.9万トン削減しました。
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- EDI（Electro De-Ionization）：電気透析原理
水資源利用状況データ
事例3：半導体工場における排水リサイクルの取り組み
四日市工場に新設した300mmφクリーンルーム棟において、製造プロセスの検討段階から排水量を削減する施策を取り込み、一部の化学物質については使用直後から専用系統にて回収し、水処理への負荷量を減らすとともに化学物質のリサイクルも可能としました。以上により、クリーンルームからの排水量は当初見込みの18,000m3/日から14,000m3/日に削減しました。さらにこの排水の約70%をRO濾過にて回収し、純水用原水あるいは廃ガス洗浄・冷却塔用水として約10,000m3/日を再利用することを達成しました。この結果、工業用水の受入量は当初見込みの18,000m3/日から8,000m3／日に削減しました。
給排水バランスの概略
RO濾過回収装置
