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LSI・ストレージ

DSA (誘導自己組織化)制御技術

2014年 研究開発センター パンフレット

概要

ナノインプリント技術と誘導自己組織化技術を組み合わせた新たな微細加工技術を開発。大面積でのナノレベル微細加工を可能にし、従来の方法では作製不可能だった半導体デバイス・ストレージデバイスの実現に貢献します。

DSA(誘導自己組織化)制御技術の概略図
DSA(誘導自己組織化)制御技術の概略図


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