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社員インタビュー

松尾 圭一郎
2014年入社
生産技術センター
実装技術研究部
専攻:工学研究科 マテリアル生産科学専攻

触媒援用WETエッチングを応用した新技術を開発。
いつも心に疑問符をもつことが、技術者としての成長に。

検証のため、専門知識の修得に励む

半導体ウエハをチップに個片化する工程をダイシングと言いますが、それに適用する触媒援用WETエッチングを応用した新技術の開発に携わっています。この技術は、ブレードを使用した機械的なダイシング方法に比べて加工幅を狭くすることができるため、材料の使用効率を高め、生産性を大幅に向上させます。この技術では、化学反応を用いてSiウエハを数10μmオーダの幅で垂直加工することがポイントです。そのため、多くの現象を表すモデルを立てて、実験で検証することを繰り返しています。電気化学や触媒化学など多くの専門知識が必要となり、文献調査で同様技術の進捗を確かめ、有識者と議論を重ねて立てたモデルの検証を行っています。

刺激的で魅力的な職場環境

私は、実験を進めていく過程で偶然起こった現象や予想外の結果が、新しい事実の発見につながるきっかけでもあると考えています。そのため、「なぜ?」と思うことをいつも忘れず、予想外の結果も追究するようにしています。そのような習慣を身に付けることで、技術者としての成長があると信じています。
生産技術センターには、さまざまな専門分野の技術者がたくさん在籍しています。そのような環境で仕事をしていると毎日が刺激的であるのと同時に、さまざまな製品の研究開発を身近に感じることができるのでとても魅力的です。皆、仕事にプライドをもち、高いレベルで研究に取り組んでいるので、時には厳しい一面もありますが、困った時は、いつでも相談できる風土です。そのような毎日を送りながら、現在開発している技術の実用化を当面の目標に置き、将来的には社会に有益な変化を与える生産技術の開発に取り組みたいと思います。

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