当社は、温室効果ガスのひとつであるＰＦＣガス*のフッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウムに固定化することで、水を使用せずに除去することができる乾式排ガス処理装置を、
２００８年度から四日市工場第４製造棟へ導入することを決定しました。第４製造棟のフル稼動時には、従来の排ガス処理装置を導入した場合に想定される酸排水量の約８０％にあたる約９００ｍ^３／日を削減できる見込みです。本装置の導入による環境対策は、３月６日、７日に当社で開催する第１７回東芝グループ環境展にも出展予定です。

　半導体製造工程では、ドライエッチングによる微細パターン加工の際、ＰＦＣガスを排出します。ＰＦＣガスはＣＯ_２の数千倍の温室効果をもつため、排出量の削減が課題となっています。当社では、地球温暖化防止の観点から２００４年から排ガス処理装置を導入し、排出したＰＦＣガスを分解処理しています。

　しかし、従来の排ガス処理装置では、ＰＦＣガスの分解後フッ素成分を水に溶かして処理するため、環境負荷低減の観点からフッ素を含む酸排水の削減が課題となっていました。今回導入を決定した乾式排ガス処理装置は、従来装置と同等以上のＰＦＣガスの分解能力を持つだけでなく、フッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウム（ＣａＦ_２）として固定化して処理することができます。これによりＰＦＣガスの処理用に水を使う必要がなくなり、酸排水量を大幅に削減することができます。

　当社では工場の廃熱の再利用や動力インバータ化を行うなど、地球環境に配慮したさまざまな取り組みを行っています。本装置の導入に関しても、取り組みの１つとして四日市工場の全製造棟への順次導入、および当社グループの半導体工場への展開も検討していきます。

　当社は「地球内企業」としてより良い地球環境の実現のため、昨年１１月に「東芝グループ環境ビジョン２０５０」を策定し、総合環境効率を２０００年度を基準として ２０５０年までに１０倍（ファクター１０）に高める目標を掲げ、地球環境問題に取り組んでいくことを宣言しました。当社グループの製品は、エネルギーアプローチとエコプロダクツアプローチで取り組みを進めていきます。また、ものづくりのプロセスでも環境に配慮した活動を推進していきます。

*　ＰＦＣガス（パーフルオロカーボンガス）はフッ素と炭素から成る化合物で、ＣＯ_２の数千倍の温室効果を持つガスです。京都議定書では削減の対象となっています。