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東芝トップページ > 研究開発・技術 > AI技術カタログ > ディープラーニング欠陥検査

東芝AI技術カタログ

パターン分析・分類パターン分類

ディープラーニング欠陥検査

検査画像から欠陥の有無や種類を高精度に判断します。

  • ・複雑な形状を見分ける深層学習モデルと、教示ラベルの誤りにロバストな弱教師学習により高精度な画像欠陥検査を実現しました。
  • ・東芝グループの半導体製造現場で活用されています。
ディープラーニング欠陥検査イメージ

応用先

  • ・製造現場の画像検査

ベンチマーク・強み・実績

  • ・International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) 2018 Best Paper Award
  • ・2016年度 人工知能学会 現場イノベーション賞・金賞
  • ・東芝グループの製造拠点に適用

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参考文献: